一种真空系统用样品存放装置[实用新型专利]

(12)实用新型专利

(10)授权公告号 CN 207482574 U(45)授权公告日 2018.06.12

(21)申请号 201721001674.9(22)申请日 2017.08.11

(73)专利权人 常州国成新材料科技有限公司

地址 213149 江苏省常州市祥云路6号(72)发明人 张祥　梁枫　(51)Int.Cl.

B65D 81/20(2006.01)B65D 25/38(2006.01)

权利要求书1页 说明书2页 附图1页

CN 207482574 U(54)实用新型名称

一种真空系统用样品存放装置(57)摘要

本实用新型公开了一种真空系统用样品存放装置，包括导柱、存样架、固定环、法兰底盘和驱动器。所述导柱一共四根，三根为限位导柱，呈三角排列。另一根导柱为螺杆，上端与固定环不接触，下端依次穿过存样架底板、法兰底盘，连接有驱动器，同时螺杆通过螺母限位于存样架底

所板，防止引起螺杆上下移动过程中的不稳定。

述存样架包括框体、存样台和存样架底板，存样台上下排列于框体中，并且框体固定于存样架底板上。存样架通过驱动器推动螺杆实现上下移动，通过磁力杆或机械手等传动装置的配合，完成样品的存放和拿取，该装置所占空间小，可以实现长行程的样品存放装置的升降，并且不需要对抗大气压力，使用时省力。

CN 207482574 U

权　利　要　求　书

1/1页

1.一种真空系统用样品存放装置，主要包括导柱，存样架，固定环，法兰底盘和驱动器，其特征在于，所述导柱一共四根，三根为限位导柱，呈三角形排列；另一根导柱为螺杆，限位导柱的上端固定于固定环上，下端穿过存样架的底板，固定于法兰底盘上，螺杆上端与固定环不接触，下端依次穿过存样架底板、法兰底盘，连接有驱动器。

2.如权利要求1所述的一种真空系统用样品存放装置，其特征在于限位导柱与存样架底板不固定。

3.如权利要求1所述的一种真空系统用样品存放装置，其特征在于螺杆与存样架底板、法兰底盘不固定。

4.如权利要求1所述的一种真空系统用样品存放装置，其特征在于所述存样架包括框体、存样台和存样架底板，存样台上下排列于框体中，并且框体固定于存样架底板上。

5.如权利要求1所述的一种真空系统用样品存放装置，其特征在于驱动器为直线导入、旋转导入器中的一种。

6.如权利要求2所述的一种真空系统用样品存放装置，其特征在于限位导柱上的两个直线轴承夹于上下两块存样架底板上。

7.如权利要求3所述一种真空系统用样品存放装置，其特征在于螺杆通过螺母限位于存样架底板，防止引起螺杆上下移动过程中的不稳定。

2

CN 207482574 U

说　明　书

一种真空系统用样品存放装置

1/2页

技术领域

[0001]本实用新型涉及一种真空系统用部件，具体涉及一种真空系统用样品存放装置。背景技术

[0002]在真空系统中为了提高样品制备效率，需要能够在不破坏真空环境的前提下，完成在真空系统中多批次生长，为此需要存放样品装置。另外，为了实现样品制备过程中的原位监测，目前常用的解决方法是将生长系统和原位监测系统等用真空管道连接起来，形成一套高真空联合系统，因此，这种系统需要样品存放和转移的装置来完成生长系统和原位监测系统之间的传递，使样品的生长和测试在同一超高真空环境中完成，而不受外界环境的污染，保证样品性质的稳定性。传统的存放和转移装置受传输距离的影响会造成占据空间较大，而且由于大气压力的作用，传输装置会比较费力。[0003]为解决上述技术问题，特提出一种真空系统用样品存放装置。发明内容

[0004]本实用新型的主要目的旨在解决真空环境下，在不破坏系统真空环境的情况下，实现样品连续制备，或者制备过程的原位监测，以及占据空间大，传输费力等问题，提供一种真空系统用样品存放装置。[0005]为达到上述技术效果，本实用新型提出了一种真空系统用样品存放装置。包括导柱、存样架、固定环、法兰底盘和驱动器。所述存样架包括框体、存样台和存样架底板，存样台上下排列于框体中，并且框体固定于存样架底板上。所述导柱一共四根，三根为限位导柱，呈三角排列。限位导柱的上端固定于固定环上，下端穿过存样架底板，固定于法兰底盘上，同时限位导柱上的两个直线轴承夹于上下两块存样架底板上起限位作用。另一根导柱为螺杆，上端与固定环不接触，下端依次穿过存样架底板、法兰底盘，连接有驱动器，同时螺杆通过螺母限位于存样架底板，防止引起螺杆上下移动过程中的不稳定。存样架通过驱动器推动螺杆实现上下移动，通过磁力杆或机械手等传动装置的配合，完成样品的存放和拿取。该装置所占空间小，可以实现长行程的样品存放装置的升降，并且不需要对抗大气压力，使用时省力。

[0006]附图说明图1是一种真空系统用样品存放装置的示意图。

具体实施方式

[0007]如说明书附图所示，一种真空系统用样品存放装置，包括导柱、存样架、固定环3、法兰底盘10和驱动器11。本具体实施例中驱动器11采用直线导入器，螺杆采用T型螺杆，螺母采用T型螺母。所述存样架包括框体6、存样台5和存样架底板7，存样台5上下排列于框体6中，并且框体6固定于存样架底板7上。所述导柱一共四根，三根为限位导柱1，呈三角排列。限位导柱1的上端固定于固定环3上，下端穿过存样架底板7，固定于法兰底盘10上，同时限位导柱1上的两个直线轴承8夹于上下两块存样架底板7上起限位作用。另一根导柱为T型螺

3

CN 207482574 U

说　明　书

2/2页

杆2，上端与固定环3不接触，下端依次穿过存样架底板7、法兰底盘10，连接有直线导入器11，同时T型螺杆2通过T型螺母9限位于存样架底板7，防止引起螺杆上下移动过程中的不稳定。存样架通过直线导入器10推动T型螺杆2实现上下移动，通过磁力杆或机械手等传动装置的配合，完成样品的存放和拿取。

4

CN 207482574 U

说　明　书　附　图

1/1页

图1

5