一种强超声辅助法制备组织均匀的高致密ITO靶材[发明专利]

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专利名称：一种强超声辅助法制备组织均匀的高致密ITO靶材专利类型：发明专利

发明人：黎军军,刘碧桃,关有为,闫恒庆,阮海波申请号：CN201810729836.3申请日：20180705公开号：CN1075904A公开日：20181211

摘要：本发明公开了一种组织均匀的高致密ITO靶材的制备方法，将粒径20～70nm，纯度≥99.99％的ITO(In2O3:SnO2＝9:1，wt％)经过干法制粒机，制成15‑20um左右大小的蓬松颗粒；再将经过制粒的蓬松ITO颗粒填装在模具中并放置于冷静压下，调节油压机的压力，将模具内部压强分别设置为400MPa、600MPa、800MPa、1000MPa、1200MPa和1500MPa；引入功率P＝3Kw的超声震荡和冷静压双重作用下成型致密度高达62.2±0.2％的素坯样品。

申请人：重庆文理学院

地址：402160 重庆市永川区红河大道319号

国籍：CN

代理机构：上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：郭桂峰

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