具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统及方法[发明专利]

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专利名称：具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统及方

法

专利类型：发明专利发明人：卢耀文

申请号：CN201210431477.6申请日：20121102公开号：CN102967527A公开日：20130313

摘要：本发明属于测量技术领域，具体涉及一种具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统及方法。包括，干泵，分子泵，超高真空全金属角阀；吸气剂泵，小孔，四极质谱计，真空室，分离规，复合型真空规，样品室，电容薄膜规等器件；系统复合了累积法、动态流量法及双通路法三种材料放气率测试方法，可测试气体流量范围为1Pam/s～6×10Pam/s(若表面积A＝6000cm，放气率测量下限达1×10Pam/(s cm))，系统覆盖了13个数量级材料放气量测试范围，采用的对称结构设计，提高了测试效率和数据的可靠性；同时系统能够对超高真空规、质谱计及气体微流量的自校准功能，具有功能多，集成度高等特点。

申请人：卢耀文

地址：100081 北京市海淀区中关村南大街5号

国籍：CN

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