用于接合衬底的装置和方法[发明专利]

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专利名称：用于接合衬底的装置和方法专利类型：发明专利发明人：T.瓦根莱特纳申请号：CN201610944779.1申请日：20110822公开号：CN106941084A公开日：20170711

摘要：本发明涉及一种装置，所述装置用于接合、尤其是临时接合第一衬底(15)与第二衬底，所述装置具有以下特征：‑ 装配装置，所述装配装置用于利用所述装配装置的有效装配面

(7，7'，7\"，7'\"，7)来在装配轮廓(8，8'，8\"，8\"'，8)上装配所述第一衬底(15)，其具有用于可控制地固定所述第一衬底(15)的外环区段(10)，‑ 变形装置，所述变形装置用于可控制地使所述第一衬底(15)变形，其中，所述变形装置可操作地构造在所述外环区段内，以及‑ 用于接合所述第一衬底(15)与所述第二衬底()的接合装置。此外，本发明涉及一种用于接合、尤其是临时接合第一衬底(15)与第二衬底的方法，所述方法具有以下步骤、尤其是以下流程：‑ 利用所述装配装置(1)的有效装配面(7，7'，7\"，7'\"，7)来在装配轮廓(8，8'，8\"，8\"')上装配第一衬底(15)，其具有用于可控制地固定所述第一衬底(15)的外环区段(10)，‑ 通过用于可控制地使所述第一衬底(15)变形的变形装置使所述第一衬底(15)在所述外环区段内变形，‑ 通过接合装置来接合所述第一衬底(15)与所述第二衬底。

申请人：EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

地址：奥地利圣弗洛里安

国籍：AT

代理机构：中国专利代理()有限公司

代理人：杜荔南

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