专利名称：基板检查装置及方法专利类型：发明专利
发明人：徐承爱,李娟嬉,安元美,李惠仁,李宗辉申请号：CN201680043948.2申请日：20160726公开号：CN108323178A公开日：20180724
摘要：公开一种用于在基板的三维检查中显示部件的基板检查装置及方法。基板检查装置测量基板或基板的关心检查对象区域，将位于测量的区域内的部件的影像显示于显示部。显示部显示的部件的影像可以按事先决定的基准方向显示。基准方向与实际部件在基板上配置的方向的差异以数值或图形的形态显示于显示部。或者，按基准方向的部件影像与实际配置的部件的影像同时显示于画面上，使用者可以使用切换按钮，转换影像的显示方式。
申请人：株式会社高永科技
地址：韩国首尔市
国籍：KR
代理机构：北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：郑青松
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