专利名称：材料管理系统及材料管理方法专利类型：发明专利
发明人：斯科特·埃尔夫斯特龙,凯瑟琳·L·汉森,史蒂文·E·豪默
森,托马斯·D·约翰逊,克拉里·诺莱,威廉·斯米顿
申请号：CN201410014371.5申请日：20070710公开号：CN103778700A公开日：20140507
摘要：提供了一种材料管理系统及材料管理方法。该材料管理系统用于把存储在液体存储容器中的液体提供给衬底，包括：围墙，用于容纳多个处理液体存储容器，所述多个处理液体存储容器的每一个都具有一个或多个用于在其上存储有关所述容器中的所述液体的信息的信息存储元件；以及监测、控制、通信装置，所述监测、控制、通信装置包括：读取器，适于从液体存储容器上的所述信息存储元件读出有关所述液体存储容器的所容之物的信息；信息存储器，适于存储有关从所述围墙内的容器所需的液体的信息；以及处理器，被配置为处理从所述信息存储元件读出的所述信息和有关从所述围墙内的容器所需的液体的信息。
申请人：高级技术材料公司
地址：美国康涅狄格州
国籍：US
代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司
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