等离子清洗技术在大面积磁控溅射玻璃镀膜中的应用

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作者：王树立

来源：《消费电子》2012年第09期

摘要：在大面积磁控溅射玻璃镀膜中，使用等离子清洗技术可以有效地清洁靶面和阳极表面，彻底解决使用平面磁控溅射阴极进行反应性溅射时的“靶中毒”和“阳极消失”两个问题。

关键词：等离子；玻璃镀膜；清洗技术

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