一种氧化铬复合涂层的制备方法[发明专利]

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专利名称：一种氧化铬复合涂层的制备方法专利类型：发明专利

发明人：高克玮,庞晓露,杨会生,王燕斌申请号：CN200610011993.8申请日：20060525公开号：CN1851038A公开日：20061025

摘要：一种氧化铬复合涂层的制备方法，涉及硬质涂层的制备。本发明主要解决传统硬质涂层摩擦系数高、粘结强度差、耐腐蚀性差等问题，以及解决多金属元素复合涂层各金属元素比例难以控制的问题。提出采用非平衡射频反应磁控溅射系统和耐腐蚀性较强且其氧化物又具有较高硬度的铬，用单一铬金属靶来制备复合涂层，制备时先溅射铬金属作为过渡层，然后通入氧气，不断调整氧气流量和溅射功率，当氧气流量达到最高值时，加上直流负偏压。本发明制备的涂层摩擦系数低，耐磨性高，同时具有良好的耐腐蚀性。该方法易行，所有原料都比较常见，可以实现工业化生产。

申请人：北京科技大学

地址：100083 北京市海淀区学院路30号

国籍：CN

代理机构：北京科大华谊专利代理事务所

代理人：杨玲莉

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