专利名称：一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法专利类型：发明专利
发明人：田野,罗飞,刘大博,祁洪飞,滕乐金申请号：CN201610436708.0申请日：20160617公开号：CN106048532A公开日：20161026
摘要：本发明涉及智能薄膜材料领域，具体涉及一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法。本发明利用磁控溅射方法制备金属钒膜，随后将金属钒膜放入通有氮气的敞口管式炉中进行高温退火处理，保温一定时间后快速取出冷却。该方法无需复杂的真空热处理设备，通过简单的氧化反应，即可获得所需的二氧化钒薄膜。其过程工艺简单可控，所制备的薄膜晶粒尺寸均匀并且细小，相变特性明显，为二氧化钒薄膜材料提供了一种低成本、短周期、可工业化实施的新技术。
申请人：中国航空工业集团公司北京航空材料研究院
地址：100095 北京市海淀区北京81信箱
国籍：CN
代理机构：中国航空专利中心
代理人：李建英
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容