专利名称：一种基于环形器的纳米光栅0级检测位移的测量方
法
专利类型：发明专利
发明人：张瑞,王雅宁,李孟委,王志斌,解琨阳,赵宏波申请号：CN201811240791.X申请日：20181024公开号：CN109029273A公开日：20181218
摘要：本发明涉及位移测量技术领域，更具体而言，涉及一种基于环形器的纳米光栅0级检测位移的测量方法，通过纳米光栅直接反射后的0级衍射光与经过反射镜后反射回的0级衍射光干涉信号来测量，实现入射光与检测光共光路；采用探测0级衍射光的方法，提高光能利用率和光电探测灵敏度；并且结合光纤环形器实现入射光与检测光共光路的方法，实现方便，请可有效消除杂散光的影响；结合在光栅处添加压电陶瓷驱动器，使其进行正弦调制，通过锁相放大一倍和二倍频信号，实现位移的高精度和高灵敏度测量，消除了背景噪声及激光强度波动对测量的影响，通过锁相一倍频信号和二倍频信号幅值，并进行相除可消除激光光强波动导致位移测量精度下降问题。
申请人：中北大学
地址：030051 山西省太原市学院路3号
国籍：CN
代理机构：北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：申绍中
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