专利名称：一种单晶炉用新型坩埚驱动装置专利类型：实用新型专利发明人：王志磊
申请号：CN201721895000.8申请日：20171229公开号：CN207738888U公开日：20180817
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉用新型坩埚驱动装置，包括底座、旋转驱动组件、升降驱动组件和坩埚轴组件，所述底座上竖直设有支架，所述支架上设置有坩埚轴支架，所述升降驱动组件设置在支架上，所述旋转驱动组件和坩埚轴组件均设置在坩埚轴支架上，所述旋转驱动组件驱动连接坩埚轴组件，所述升降驱动组件包括升降微步步进电机、联轴器、蜗轮减速器、滚珠丝杠、直线导轨，所述滚珠丝杠和直线导轨均固定在支架上，所述直线导轨设置在滚珠丝杠两侧，所述升降微步步进电机设置在支架下方，所述升降微步步进电机通过联轴器与蜗轮减速器连接，所述蜗轮减速器驱动连接滚珠丝杠，所述滚珠丝杠连接坩埚轴组件，带动坩埚轴组件平稳升降。
申请人：晶创铭盛电子科技(香河)有限公司
地址：065000 河北省廊坊市香河经济技术开发区机器人产业港1期E5楼
国籍：CN
代理机构：北京易正达专利代理有限公司
代理人：赵白
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