专利名称：合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学
装置封装体和制造方法
专利类型：发明专利
发明人：松井晴信,原田大实,冈藤大雄,山崎裕之,竹内正树申请号：CN201910663690.1申请日：20190723公开号：CN110752188A公开日：20200204
摘要：本发明涉及一种合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法。具体地，将合成石英玻璃空腔件(1)连接至其上安装有光学装置(7)的基材(6)，使得该装置可容纳在空腔件中。由与装置(7)相对的顶表面(2a)和侧表面(3a)构成的内表面限定空腔件(1)。顶表面(2a)是镜面表面并且侧表面(3a)是粗糙表面。
申请人：信越化学工业株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：李跃龙
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