光学监控系统多片式膜厚修正装置[实用新型专利]

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专利名称：光学监控系统多片式膜厚修正装置专利类型：实用新型专利发明人：王静辉,郑燕飞,邓琪申请号：CN201720334791.0申请日：20170331公开号：CN206706201U公开日：20171205

摘要：本实用新型涉及到膜修复技术领域，尤其涉及光学监控系统多片式膜厚修正装置。该光学监控系统多片式膜厚修正装置，包括膜厚修正板支架、膜厚修正板和基板。本实用新型所涉及的光学监控系统多片式膜厚修正装置应用于多光路光学监控系统，可同时对基板多个半径进行监控，且在镀膜过程中可根据膜厚均匀性变化，使用两片不同形状的膜厚修正板进行切换，大大提高了光学监控精度和膜厚的均匀性。此多片式膜厚修正装置的应用使光学监控精度提高一个数量级，镀膜良率提高2‑3倍此外，该光学监控系统多片式膜厚修正装置结构设计合理，使用安装方便、稳定，适合推广使用。

申请人：王静辉,郑燕飞,邓琪

地址：215000 江苏省苏州市平江区宋仙洲巷17号创新科技园C栋202西

国籍：CN

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