专利名称：一种金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置专利类型：发明专利
发明人：雷大江,崔海龙,岳晓斌,刘坤,雷艳华,张新疆,蓝河,夏
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申请号：CN201711284370.2申请日：20171207公开号：CN107806818A公开日：20180316
摘要：本发明公开了一种金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置，该装置的左右移动导轨A、上下移动导轨A、前后移动导轨用于实现原子力扫描头与金刚石刀具十微米量级的偏心调整；左右移动导轨B、前后移动导轨B用于实现光学显微镜与金刚石刀具十微米量级的偏心调整；三维精密位姿调整机构用于实现金刚石刀具与原子力扫描探针亚微米量级的偏心调整；超精密空气静压回转轴系用于实现金刚石刀具全刃口锋利度和圆弧波纹度的测量。本发明的金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置能够有效控制超精密轴系的振动和回转误差对测量结果的影响，同时显著提升金刚石刀具刃口锋利度、圆弧波纹度、刃口微豁、刃口表面粗糙的测量效率。
申请人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
地址：621999 四川省绵阳市919信箱622分箱
国籍：CN
代理机构：中国工程物理研究院专利中心
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