专利名称：等离子体发生器专利类型：发明专利
发明人：张鸿永,徐相勋,印正奂,李宪洙,李润星申请号：CN201080070565.7申请日：20101209公开号：CN103250470A公开日：20130814
摘要：本发明提供了一种等离子体发生器，其包括：真空容器；多个接地电极，它们布置在所述真空容器内且相互平行地延伸；多个电源电极，它们在所述真空容器内布置于所述接地电极之间；以及多个电极电介质，它们在所述真空容器内布置于所述电源电极与所述接地电极之间。所述电源电极与RF电源连接。
申请人：韩国科学技术院,周星工程股份有限公司
地址：韩国大田市
国籍：KR
代理机构：北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
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