（12）发明专利申请
（21）申请号 CN200510090637.5 （22）申请日 2005.08.18
（71）申请人 中国科学院半导体研究所
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
（10）申请公布号 CN1917131A （43）申请公布日 2007.02.21
（72）发明人 张兴旺;陈诺夫
（74）专利代理机构 中科专利商标代理有限责任公司
代理人 段成云
（51）Int.CI
H01J27/02; H01J37/08;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种考夫曼离子源中的中和阴极灯丝及其方法
（57）摘要
本发明涉及离子束技术领域，特别是一种
考夫曼离子源中的中和阴极灯丝及其方法。中和阴极灯丝置于离子束外可避免离子束的直接溅射；中和阴极灯丝电源的正极接地，使得整个中和阴极灯丝处于负电位；在离子源外部采用三灯丝切换方式工作，三个灯丝成环状围绕离子束。中和阴极灯丝具有结构简单、连续工作时间长、
工作性能稳定和低污染的特点，在低能离子束薄膜材料制备和离子束刻蚀中有广泛的应用。
法律状态
法律状态公告日
2007-02-21 2007-04-18 2010-03-24
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开
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权利要求说明书
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说明书
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