专利名称：一种薄膜热敏电阻及其制备方法及其电阻值的调节
方法
专利类型：发明专利发明人：何林,杨雷,吴木营申请号：CN201510143366.9申请日：20150330公开号：CN104715874A公开日：20150617
摘要：本发明涉及薄膜热敏电阻技术领域，具体涉及一种薄膜热敏电阻及其制备方法及其电阻值的调节方法。一种薄膜热敏电阻，其特征在于：由下而上依次包括基板、底层Mn-Co-Ni-Fe-O四元过渡金属氧化物膜层、中间层Mn-Co-Ni-Cu-O四元过渡金属氧化物膜层、顶层Mn-Co-Ni-O三元过渡金属氧化物膜层和电极；该负温度系数薄膜热敏电阻呈现Mn-Co-Ni-O/Mn-Co-Ni-Cu-O/Mn-Co-Ni-Fe-O三层结构。本发明制备的薄膜热敏电阻的电阻值在0.5~3.1MΩ左右可调，老化系数小于4.4%，从而使得该薄膜热敏电阻具有电阻值较低、老化系数低且使用寿命长的优点。
申请人：东莞理工学院
地址：523808 广东省东莞市松山湖科技产业园区大学路1号东莞理工学院
国籍：CN
代理机构：东莞市华南专利商标事务所有限公司
代理人：王雪镅
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