专利名称：一种精密激光扫描微孔加工装置专利类型：实用新型专利
发明人：赵建涛,肖磊,杨锦彬,宁艳华,高云峰申请号：CN201420631075.5申请日：20141028公开号：CN204308417U公开日：20150506
摘要：本实用新型涉及激光加工技术领域，公开了一种精密激光扫描微孔加工装置，该加工装置包括扫描振镜外壳、振镜片、平场透镜和透射平板，其中，扫描振镜外壳的侧面和底面上分别加工有通孔，作为激光束入射孔和通光孔；外部激光束通过激光束入射孔进入到扫描振镜外壳内，经过振镜片反射后穿过通光孔，入射到平场透镜对入射激光束进行聚焦，聚焦后的激光束经过透射平板作用在待加工材料上。本实用新型中采用透射平板对聚焦光束旋转透射，从而实现聚焦光束焦点在二维平面上的微小移动，从而实现精密微孔的加工；此外通过第一透射平板和第二透射平板在小范围内的微孔加工，能提升扫描光束运动的分辨率并降低热漂移，并能够保证微孔的精确、稳定加工。
申请人：大族激光科技产业集团股份有限公司
地址：518000 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号
国籍：CN
代理机构：北京天奇智新知识产权代理有限公司
代理人：汪琳琳
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