（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201810509361.7 （22）申请日 2018.05.24
（71）申请人 宁波森利电子材料有限公司
地址 315171 浙江省宁波市海曙区望春工业园区科欣路317号
（10）申请公布号 CN108707870A
（43）申请公布日 2018.10.26
（72）发明人 刚爽;杨晔;朱永明
（74）专利代理机构 北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人 文芳
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
高致密度的硅铝旋转靶材的制备方法
（57）摘要
本发明公开了一种高致密度的硅铝旋转靶
材的制备方法，包括制备喷涂粉末、预处理靶材背管、对靶材背管喷涂打底层、用等离子喷涂工艺在靶材背管上制备硅铝靶材等步骤。其中，制备喷涂粉末的方法为：以质量百分比计，将90％‑92％的硅粉与8％‑10％的铝粉混合后，在V型混粉机中均匀混粉4‑6小时，然后在90—110°的烘干箱中烘干4‑6小时。本发明的优点是：工艺简单、所制备的靶材品质较佳。
法律状态
法律状态公告日
2018-10-26 2018-10-26 2018-11-20
公开 公开
实质审查的生效
法律状态信息
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法律状态
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权利要求说明书
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说明书
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